 |
Barco de wafer de cuarzo de alta pureza y resistencia a altas temperaturas
Datos del producto:
| Lugar de origen: | China. |
| Nombre de la marca: | ZMSH |
Pago y Envío Términos:
| Cantidad de orden mínima: | 1 |
|---|
|
Información detallada |
|||
| Pureza de materiales: | SiO2≥ 99,999% | Punto de fusión: | 1730°C (punto de ablandamiento) |
|---|---|---|---|
| Capacidad máxima de las obleas: | 25 obleas (tamaño estándar) | Resistencia al ácido: | Resistente a los ácidos sulfúrico, nítrico y clorhídrico (excepto HF) |
| Resistencia a la corrosión: | 30 veces superior a la cerámica, 150 veces superior al acero inoxidable | Procesos compatibles: | Difusión de semiconductores, recocido, dopaje fotovoltaico, reacciones de laboratorio |
| Resaltar: | Barco de obleas de cuarzo de alta pureza,Barco de obleas de cuarzo personalizable,Barco de wafer de cuarzo resistente a altas temperaturas |
||
Descripción de producto
Introducción del producto
Un barco de obleas, también conocido como barco o portador, es una herramienta crítica en la fabricación de semiconductores para sostener, transferir y posicionar obleas.Su diseño debe soportar condiciones extremas como altas temperaturas (> 1000°C), corrosión química y descarga electrostática (ESD) para garantizar la seguridad de las obleas durante varios procesos.
Principio
- ¿ Qué?Alineación y fijación:
Los orificios de posicionamiento en el barco se alinean con los pines en la caja de obleas, lo que permite la transferencia de lotes sin manipulación manual.
Las ranuras de doble capa (superior e inferior) aseguran las obleas durante el ciclo térmico (por ejemplo, recocido).
- ¿ Qué?Gestión del estrés térmico:
El material de baja expansión térmica (0,5×10−6/°C) minimiza la deformación bajo las fluctuaciones de temperatura.
La estructura del panal de miel distribuye el estrés térmico uniformemente.
Compatibilidad del proceso:
Las geometrías de ranuras (por ejemplo, tipo I, tipo V) se adaptan a diferentes espesores de obleas (300 ∼800 μm) al tiempo que aseguran el flujo de reactivo en fase gaseosa.
La sección transversal en forma de diamante permite la carga bidireccional robótica, mejorando el rendimiento.
Seguridad y protección:
Los componentes del amortiguador (muelles, almohadillas de goma) absorben las descargas mecánicas durante la colocación de la oblea.
La depuración por nitrógeno elimina los residuos, evitando la contaminación
Características
El vidrio de sílice fundido es un vidrio industrial especializado hecho de dióxido de silicio (SiO2).
- - ¿ Qué?Resistencia a altas temperaturas:
Punto de ablandamiento: ~ 1730°C.
Funciona de forma continua a 1100~1250°C y soporta una exposición a corto plazo de hasta 1450°C.
- - ¿ Qué?Inertitud química:
Resistente a la mayoría de los ácidos (excepto el ácido fluorhídrico).
La resistencia a la corrosión es 30 veces mayor que la cerámica y 150 veces mayor que el acero inoxidable.
Mantiene estabilidad en condiciones térmicas extremas, superando a otros materiales.
- Estabilidad térmica:
Coeficiente de expansión térmica extremadamente bajo (~ 5,5×10−7/°C).
Sobrevive al choque térmico (por ejemplo, calentamiento a 1100 °C y apagado en agua).
- - ¿ Qué?Transparencia óptica:
Transmisión de espectro amplio desde el ultravioleta (UV) hasta el infrarrojo (IR).
Transmisibilidad de la luz visible: > 95%.
La transmitancia UV alcanza un máximo de > 85% en el rango de 185-250 nm.
- - ¿ Qué?Aislamiento eléctrico:
La resistividad es 10.000 veces mayor que el vidrio ordinario.
Excelentes propiedades dieléctricas incluso a altas temperaturas.
Aplicaciones
Energía solar:Tratamiento térmico de obleas de silicio y dopaje.
Investigación y desarrollo:Reactores de alta temperatura a escala de laboratorio y ensayo de materiales