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Introducción
El silicioCarburoEn elEl aislante (SiCOI)delgadopelículasrepresentana) elel corte-el bordeclasede lasCompuestomateriales,creadoPor elintegracióna) elmuy alto...calidad,sólo...el cristalel silicioel carburo (SiC)Capapor lo general500En el600el tamaño de las piezasespesoEn ela) elel silicioDióxido de carbono (SiO2)La base.Conocidoparasusuperiortérmicoconductividad,muy altoEléctricoDesglosefuerza,ymuy bienla resistenciaEn elquímicodegradación,SiC,¿Cuándo?en parejaconunaislanteel sustrato,permiteEldesarrollode lasdispositivoscon capacidadde lasfuncionamientoconfiablebajoextremopotencia,frecuencia,yLa temperaturalas condiciones.

Principio
SiCOIdelgadopelículaspuede- ¿ Qué?Fabricadoa través deCMOS...compatiblesLas técnicasEsoscomo- ¿Por qué no?el corteyuna obleael vínculo,Facilitarsuintegraciónconde origen convencionalel semiconductorDispositivolas plataformas.

- ¿Qué quieres decir?CortadoTécnica
Uno.ampliamenteutilizadométodoincluyeEl- ¿Por qué no?el corte (Es muy inteligente.Cortado)acercamiento,dondea) eldelgadoSecocapaestransferidoEn ela) elel substratoa través deIónimplantaciónseguidoPor eluna obleael vínculo.Esto...metodología,En un principiodesarrolladoparaProducciónel silicio-- ¿Qué es eso?aislante (En el caso de los productos de origen nacionalOfertaEn elescala,Las caraslas dificultades¿Cuándo?aplicadoEn el- Sí, es cierto.En concreto,IónimplantaciónpuedeIntroducciónestructuralesdefectosEn elSecoEso essones difícilEn elreparacióna través detérmicorecocido,el líderEn elmuy importanteel sistema ópticopérdidasEn elfotónicolos dispositivos.Además,RecladoEn ellas temperaturaspor encima1000°C. Lasel mayoel conflictoconEspecíficoProcesolas limitaciones.

¿Por qué?superadoEsoslas limitaciones,Mecánicoel adelgazamientoa través dela moliendayquímicoMecánicoel pulido ((CMP)puedereducirElSiC/SiO2Sí, sí.CompuestocapaEn elabajo1en μm,rendimientoa) elmuymuy suavela superficie.ReactivoIónel grabado (RIE)las ofertasunde otro tipoel adelgazamientorutaEso esMinimizael sistema ópticopérdidasEn elSiCOIlas plataformas.En elparalelo,húmedooxidación-AyudadoCMPtienemostradola eficaciaEn elreducciónsuperficielas irregularidadesyDispersiónlos efectos,mientrasel siguientemuy alto...La temperaturaRecladopuedeMejorarEn generaluna obleacalidad.

OfrasEnlaceTecnología
Unalternativoel enfoqueparaFabricaciónSiCOILas estructurasincluyeuna obleael vínculo,dondeel silicioel carburo (SiC)yel silicio (Si)Ofertasonunidosbajola presión,el usoEltérmicamenteoxidadolas capasEn ellas doslas superficiesEn elel formularioa) elEl vínculo.Sin embargo,térmicooxidaciónde lasSecopuedeIntroducciónlocalizadodefectosEn elElSiC/el óxidointerfaz.Estoslas imperfeccionesel mayoincrementoel sistema ópticopropagaciónpérdidaso bienCrearCargaatrapamientolos sitios.Además,ElSiO2capaEn elSecoesa menudodepositadoel usoel plasmamejoradoquímicoel vaporla declaración (PECVD),a) elProcesoEso esel mayoIntroducciónestructuraleslas irregularidades.

¿Por qué?DirecciónEsoslas cuestiones,unmejoradométodotieneha sidodesarrolladoparaFabricación3C-SiCOIlas fichas,queUtilizaanódicoEnlaceconel borosilicatoEs el vidrio.Esto...Técnicase mantienellenocompatibilidadconel siliciomicromecanización,CMOScircuitos,y- ¿ Qué es eso?basadofotónicola integración.Como alternativa,de forma amorfaSecopelículaspuede- ¿ Qué?directamentedepositadoEn elSiO2/Sí, sí.Ofertaa través dePECVDo bienpulverización,ofrecimientoa) elsimplificadoyCMOS...amistosoFabricaciónel camino.Estoslos avancessignificativamenteMejorarElescalabilidadyAplicabilidadde lasSiCOILas tecnologíasEn elLa fotónica.

Ventajas
En elcomparaciónEn elcorrienteel materiallas plataformasEsoscomoel silicio-- ¿Qué es eso?aislante (el artículo 5 del Reglamento (UE) n.o 1308/2013,el silicioel nitruro (SiN),yel litioNiobato- ¿Qué es eso?aislante (INOI),ElSiCOIplataformalas ofertasdistintorendimientoBeneficiosparafotónicolas aplicaciones.Con elsuúnicolas propiedades,SiCOIescada vez másreconocidocomoa) elprometedorel candidatoparaEl siguiente...generaciónCuánticolas tecnologías.Esllaveventajasincluyen:

• En generalOptosLa transparencia:SiCOIlas exposicionesmuy altotransparenciaa travésa) elanchoEspectralel rangodesdeaproximadamente400nmEn el5000nmmientrasel mantenimientobajoel sistema ópticopérdida,conGuía de ondaAtenuaciónpor lo generalabajo1Db/en cm.

• Con una capacidad de producción deCapacidad:Elplataformapermitevariadoslas funcionalidades,incluidosel electro-ópticala modulación,térmicoel ajuste,yfrecuenciael control,hacerEs eladecuadoparacomplejointegradofotónicolos circuitos.

• No linealOptosPropiedades:SiCOIapoyosEn segundo lugar...armoniosogeneraciónyotrasno lineallos efectos,yEs elTambiénofrecea) elviablefundaciónparasólo...fotónlas emisionesa través deingenieríael colorlos centros.

Aplicaciones

SiCOIMaterialesintegrarElsuperiortérmicoconductividadymuy altoDesglosetensiónde lasel silicioel carburo (SiC)conElmuy bienEléctricoaislamientolas propiedadesde lasel óxidolas capas,mientrassignificativamentemejoraElel sistema ópticoLas característicasde lasnormalidadSecolos sustratos.Esto...haceellosmuyadecuadoparaa) elanchoel rangode lasavanzadolas solicitudes,incluidosintegradolas tecnologías fotónicas,Cuánticola óptica,ymuy alto...rendimientopotenciala electrónica.

ApalancamientoElSiCOIplataforma,Investigadores- ¿ Qué?con éxitoFabricadosvariedadmuy alto...calidadfotónicodispositivosEsoscomorectoguías de ondas,microanilloymicrodisccon una capacidad de transmisión superior a 20 Wfotónicoel cristalguías de ondas,el electro-ópticacon una capacidad de transmisión superior a 20 WMach- ¿ Por qué?los interferómetros (INM),yel sistema ópticoel hazLas divisoras.EstoscomponentessoncaracterizadoPor elbajopropagaciónpérdidaymuy bienfuncionarioel rendimiento,la prestación derobustoinfraestructurasparaLas tecnologíasEs como...Cuánticola comunicación,fotónicoseñalprocesamiento,ymuy alto...frecuenciapotencialos sistemas.

Por elel usoa) eldelgadopelículaestructurapor lo generalformadoPor ellas capassólo...el cristalSiC (Por ahí500 ¢600nmespeso)En ela) elel siliciodióxido de carbonoSubstratoSiCOIpermiteoperaciónEn elexigenteEntornosque incluyemuy altopotencia,elevadoslas temperaturas,yradio-frecuencialas condiciones.Esto...CompuestodiseñoPosicionesSiCOIcomoa) elel líderplataformaparaEl siguiente...generaciónOptomecánicayCuánticolos dispositivos.

Pregunta y respuesta

Pregunta 1:¿ Qué?esa) elSiCOI¿Una oblea?
A1: ¿Qué es esto? A. NoSiCOI (El silicioCarburoEn elEl aislante)una obleaesa) elCompuestoestructuraque consiste ende lasa) eldelgadocapade lasmuy alto...calidadsólo...el cristalel silicioel carburo (SiC)Enlaceso biendepositadoEn elunaislantecapa,por lo generalel silicioDióxido de carbono (SiO2).Esto...estructuralas mezcladorasElmuy bientérmicoyEléctricolas propiedadesde lasSecoconElaislamientoBeneficiosde lasunun aislante,hacerEs elmuyadecuadoparaLas aplicacionesEn ellas tecnologías fotónicas,potenciaproductos electrónicos,yCuánticolas tecnologías.

Pregunta 2:¿ Qué?sonElel principalaplicaciónÁreasde lasSiCOI¿Las obleas?
A2: ¿Qué es esto? SiCOIOfertasonampliamenteutilizadoEn elintegradolas tecnologías fotónicas,Cuánticola óptica,RFproductos electrónicos,muy alto...La temperaturalos dispositivos,ypotencialos sistemas.Típicocomponentesincluyenmicroanillocon una capacidad de transmisión superior a 20 WMach- ¿ Por qué?los interferómetros (INM),el sistema ópticoguías de ondas,con una capacidad de transmisión superior a 20 Wmicrodisccon una capacidad de transmisión superior a 20 Wyel hazLas divisoras.

P4: ¿Cuál es el problema?¿ Cómo?sonSiCOIOferta¿Fabricado?
A4: No hay más. SiCOIOfertapuede- ¿ Qué?Producidoel usovariedadlos métodos,incluidosEs muy inteligente.Corte (- ¿Por qué no?el corteyuna obleael enlace),directoEnlaceconla moliendayCMP,anódicoEnlaceconvidrio,o biendirectola deposiciónde lasde forma amorfaSecoa través dePECVDo bien- ¿Qué es eso?Elelecciónde lasmétodoDependeEn elElaplicaciónydeseadoSecopelículacalidad.

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