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Armas robóticas de cerámica para el manejo de obleas en la industria de semiconductores

Los productos de semiconductores requieren un entorno de producción excepcionalmente limpio para garantizar una contaminación cero.cuando los trabajadores usen prendas antistáticas para evitar las descargas de partículas y electrostáticas.

Los semiconductores son extremadamente delicados. Algunas obleas son ultra delgadas, de sólo fracciones de milímetro o incluso más delgadas.los accesoriosLas herramientas de este tipo no deben contaminar las obleas y también deben resistir la exposición a ácidos, álcalis,y tratamiento térmico, garantizando una durabilidad a largo plazo.

Introducción a las armas robóticas cerámicas para uso en semiconductores

Selección del material:
La mayoría de los brazos robóticos semiconductores están hechos deCerámica de aluminio al 99%.

Propiedades de la cerámica de alumina:
La cerámica de aluminio, una cerámica estructural, tiene una dureza que sólo es superada por el diamante y supera significativamente al acero y al acero cromado en resistencia al desgaste.Ofrece tolerancia a altas temperaturas (hasta 1600 °C), excelente resistencia al desgaste y a la corrosión, baja fricción y una estructura ligera, lo que lo hace ideal para aplicaciones de semiconductores.

Nombramiento y función:
Estos brazos robóticos de alumina cerámica, también conocidos comoLas demás:o bienEfectores de transferencia de placasLas obturadoras son componentes montados en robots de manipulación de obleas, que funcionan como las "manos" del robot, trasladando de forma segura las obleas de silicio a las posiciones designadas.Desde que entran en contacto directo con las obleas, su ligereza contribuye a reducir la carga de los equipos robóticos, prolongando su vida útil.

Tipo de armas robóticas de cerámica:

• Tipo de sujeción

• Tipo de apoyo

• Tipo de succión al vacío

• Tipo de Bernoulli

Proceso de fabricación de armas robóticas de cerámica

1. Preparación en polvo:El polvo de alumina de alta pureza se somete a granulación por rociado para formar gránulos esféricos.

2. Conformación:Los gránulos se prensan en seco para crear un cuerpo verde, que se forma con prensado isostático en frío.

3. Densificación:El cuerpo con forma se sintera a altas temperaturas, eliminando los huecos entre las partículas y formando un sólido cerámico denso.

4. El proceso de molienda y tratamiento de superficies:Las ruedas de molienda rotativas eliminan los óxidos y impurezas de la superficie.

5. Mecanizado de precisión:La rectificación de la superficie interior y exterior perfecciona aún más la pieza.

Estructura y funcionalidad

El brazo cerámico incorporacanales de aire y ranuras de ventilaciónCuando se aplica el vacío, crea succión para agarrar las partes del semiconductor suavemente evitando el estrés mecánico, los arañazos o las astillas de las obleas finas.

Ventajas de las armas de cerámica sobre las armas de metal

1. Resistencia a la corrosión superior:Los brazos cerámicos soportan los ambientes ácidos y alcalinos mejor que los brazos metálicos, ofreciendo una vida útil más larga durante el procesamiento de semiconductores.

2. No contaminantes:Las cerámicas no reaccionan con otras sustancias, no dejan partículas finas, no tienen carga estática residual y no liberan iones metálicos, lo que garantiza que las obleas permanezcan intactas.

3. Deformación térmica mínima:Durante los tratamientos térmicos, los brazos de cerámica mantienen su forma mejor que los metales, reduciendo la deformación de los componentes delicados de semiconductores.

Aplicaciones más amplias de los materiales cerámicos

Más allá de los brazos robóticos de manipulación de obleas, las propiedades de la cerámicaaislamiento, resistencia a altas temperaturas, resistencia a ácidos y álcalis y estabilidad química- hacerlos ideales para la fabricación de otros componentes críticos utilizados en ambientes hostiles.garantizar el rendimiento y la limpieza en procesos de semiconductores exigentes.