Pin de elevación de zafiro para semiconductores Pin de elevación de cerámica Pin de zafiro de alta pureza

Pin de elevación de zafiro para semiconductores Pin de elevación de cerámica Pin de zafiro de alta pureza

Resumen de Sapphire pin elevador

Los pines elevadores de zafiro son componentes de ingeniería de precisión ampliamente utilizados en

equipos de procesamiento de semiconductores, especialmente para el manejo de obleas, epitaxialessistemas de crecimiento y deposición tales como MOCVD (deposición de vapor químico metálico-orgánico), PECVD (deposición de vapor químico reforzado por plasma) y otros sistemas de alta temperatura, vacío,o entornos corrosivosFabricados a partir de óxido de aluminio monocristalino (Al2O3), también conocido como zafiro sintético, estos pines elevadores son valorados por su excepcional dureza, estabilidad térmica, resistencia química,y durabilidad.

Propiedades de la clavija de elevación de zafiro

Los alfileres de zafiro son a menudo diseñados a medida

Ventajas de las clavijas de zafiro

a) elResistencia a altas temperaturas

El zafiro mantiene su resistencia mecánica a temperaturas superiores a 1.500 ° C, por lo que es adecuado para reactores epitaxiales y cámaras de deposición donde otros materiales pueden deformarse, oxidarse o degradarse.

b. Estabilidad química

El zafiro es químicamente inerte en gases reactivos y corrosivos como H2, NH3 y HF, lo que garantiza un rendimiento a largo plazo en entornos de CVD y grabado.

c. Dureza extrema

La alta dureza de la superficie resiste el desgaste y los arañazos del contacto de la oblea y la accionamiento mecánico.

d. el número de Precisión dimensional

El zafiro se puede mecanizar a tolerancias ajustadas (± 1 μm), lo que garantiza una altura de elevación de obleas consistente, precisión de posicionamiento y fiabilidad de alineación.

- ¿ Qué?Generación de partículas bajas

A diferencia de la cerámica o los metales recubiertos que pueden desprenderse o desgasificarse durante el ciclo térmico, el zafiro no produce partículas, lo que es crítico para los ambientes de proceso de salas limpias y ultrapuros.

f.Larga vida útil

La resistencia al desgaste y la estabilidad de los zafiros en condiciones extremas contribuyen a una menor frecuencia de mantenimiento y a un mayor tiempo de funcionamiento del equipo.

Imagen física de un alfil de zafiro

Aplicaciones de las alfileras de zafiro

Los pines elevadores de zafiro se emplean en una variedad de procesos de semiconductores y materiales avanzados donde las obleas deben manejarse con precisión durante la fabricación.

a) el Sistemas MOCVD

• Crecimiento de semiconductores compuestos basados en GaN, GaAs e InP

• Producción de LED y diodos láser

• Ofras de zafiro y sustratos preparados para epi

b.Reactores PECVD y LPCVD

• Transferencia de obleas durante la deposición de películas finas a base de plasma

• Se utiliza en microelectrónica, células solares, MEMS y fotónica

c.Fuegos de procesamiento térmico

• Pasos de recocido, oxidación o difusión a alta temperatura

d. el número deInspección y manipulación de las obleas

• Sistemas mecánicos que soportan o manipulan temporalmente las obleas

- ¿ Qué?Cámaras de grabado y limpieza

• Cuando la resistencia química sea crítica durante la limpieza previa o el desmonte de la oblea

Pregunta y respuesta

P: ¿Qué factores clave se deben tener en cuenta al comprar alfileres de zafiro?

A: ¿Qué quieres decir?Escenario de aplicación

• Condiciones materiales: Determinar las condiciones ambientales a las que estarán expuestos los pines de elevación, como las altas temperaturas o los ambientes corrosivos.
• Objetivo: Elegir un diseño adecuado basado en la aplicación específica (por ejemplo, medición espectroscópica, instrumentos de precisión, etc.).

Dimensiones y especificaciones

• Diámetro y longitud: Seleccionar el diámetro y la longitud adecuados en función del tamaño de las muestras que se apoyen o levantan.
• Requisitos de tolerancia: Asegúrese de que los pines de elevación cumplan con los requisitos de tolerancia dimensional de su aplicación para mantener la precisión.

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