Pin de elevación de zafiro de alta pureza para el manejo de obleas de semiconductores Tamaños personalizados
Datos del producto:
Place of Origin: | China |
Nombre de la marca: | ZMSH |
Pago y Envío Términos:
Cantidad de orden mínima: | 1 |
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Payment Terms: | T/T |
Información detallada |
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El material: | Solo Crystal Sapphire | Dimensions: | Customized |
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La rugosidad de la superficie: | Ra ≤ 0,02 μm | Working Temperature: | >2000°C |
Forma de la punta: | Plano, redondo, cónico | Mounting: | Mechanical or Threaded |
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Descripción de producto
Introducción del producto
El alfiler de zafiro es un alfiler hecho de zafiro de cristal único de alta pureza, utilizado principalmente en equipos de fabricación de semiconductores para soportar y mover obleas.Gracias a su excepcional resistencia a las altas temperaturasEl uso de un alfiler de zafiro reduce en gran medida el riesgo de contaminación de las obleas.Prolonga la vida útil del equipo, y mejora el rendimiento general del proceso.
Principio básico
El principio básico de un alfiler de zafiro es levantar o bajar con precisión las obleas durante el procesamiento para garantizar un posicionamiento adecuado.Varios pines de elevación de zafiro suelen funcionar juntos para evitar que la oblea se deforme o dañeDebido a que el alfil de zafiro resiste altas temperaturas, vacío y entornos corrosivos, ofrece una vida útil mucho más larga y una mayor confiabilidad que los materiales convencionales.
Especificaciones
Punto de trabajo | Especificación |
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El material | Zafiro de cristal único |
Las dimensiones | Personalizado |
La rugosidad de la superficie | Ra ≤ 0,02 μm |
Temperatura de trabajo | > 2000°C |
Coeficiente de expansión térmica | 5.8 × 10−6 /°C |
Fuerza de flexión | ≥ 400 MPa |
La transparencia | Alta transmisión en el rango visible |
Resistencia a la corrosión | Es excelente. |
Forma de la punta | Plano, redondo y cónico |
El montaje | Las demás máquinas y aparatos |
Aplicaciones
Los pines elevadores de zafiro se utilizan ampliamente en equipos para grabado (Etch), deposición química de vapor (CVD), deposición física de vapor (PVD) y deposición de capa atómica (ALD).y refrigeraciónEn la actualidad, los pines elevadores de zafiro desempeñan un papel crucial en el soporte y el posicionamiento.el alfil de zafiro se ha convertido en un componente central.
Pregunta y respuesta
P1: ¿Por qué elegir un alfiler de zafiro en lugar de cerámica o metal?
R1: El alfil de zafiro ofrece una mayor resistencia química y estabilidad térmica, capaz de funcionar a largo plazo en gases corrosivos y ambientes de alta temperatura.
P2: ¿El alfiler de zafiro genera partículas durante su uso?
R2: Debido a su superficie extremadamente lisa, el alfil de elevación de zafiro tiene un riesgo extremadamente bajo de generación de partículas, lo que lo hace ideal para procesos ultralimpios.
P3: ¿Requieren las diferentes máquinas pines elevadores de zafiro personalizados?
R3: Sí, dependiendo del modelo de la máquina y los requisitos del proceso, el alfil de elevación de zafiro a menudo necesita ser personalizado en tamaño, forma e interfaz de conexión.
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