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substrato del zafiro
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Wafer de zafiro de 12 pulgadas para la fabricación de dispositivos LED y GaN

Wafer de zafiro de 12 pulgadas para la fabricación de dispositivos LED y GaN

Nombre De La Marca: ZMSH
MOQ: 2
Precio: by case
Detalles Del Embalaje: Cartones personalizados
Condiciones De Pago: T/T
Información detallada
Lugar de origen:
Porcelana
Diámetro de la oblea:
12 pulgadas (300 mm)
material:
Zafiro monocristalino (Al2O3)
Orientación cristalina:
Plano C (0001), Plano A (11-20), Plano R (1-102)
Espesor:
430–500 µm
Acabado superficial:
Pulido por una cara (SSP) / Pulido por dos caras (DSP)
Rugosidad de la superficie (RA):
≤0,5 nm (pulido)
Capacidad de la fuente:
Por caso
Descripción de producto

Resumen del producto

Las obleas de zafiro de 12 pulgadas son sustratos de zafiro de cristal único de diámetro ultragrande fabricados para aplicaciones avanzadas de semiconductores y optoelectrónica.Comparado con las tradicionales obleas de zafiro de 2 ′′ 6 pulgadas, las obleas de zafiro de 12 pulgadas mejoran significativamente la eficiencia de producción, la utilización del material y la uniformidad del dispositivo, lo que las convierte en una opción ideal para la próxima generación de LED, electrónica de potencia,y tecnologías avanzadas de embalaje.

 

Nuestras obleas de zafiro de 12 pulgadas son producidas a partir de cristales individuales de alta pureza de Al2O3 cultivados por métodos avanzados de crecimiento de cristales, seguidos de corte de precisión, lapping, pulido,y una inspección de calidad estrictaLas obleas cuentan con una excelente planitud superficial, baja densidad de defectos y alta estabilidad óptica y mecánica, cumpliendo con los estrictos requisitos de fabricación de dispositivos de gran área.

 

Wafer de zafiro de 12 pulgadas para la fabricación de dispositivos LED y GaN 0


Wafer de zafiro de 12 pulgadas para la fabricación de dispositivos LED y GaN 1Características del material

El zafiro (óxido de aluminio de un solo cristal, Al2O3) es bien conocido por sus excepcionales propiedades físicas y químicas.Las obleas de zafiro de 12 pulgadas heredan todas las ventajas del material de zafiro mientras proporcionan una superficie útil mucho más grande.

Las características principales del material incluyen:

  • Extremadamente alta dureza y resistencia al desgaste

  • Excelente estabilidad térmica y alto punto de fusión

  • Resistencia química superior a ácidos y álcalis

  • Alta transparencia óptica de las longitudes de onda UV a IR

  • Excelentes propiedades de aislamiento eléctrico

Estas características hacen que las obleas de zafiro de 12 pulgadas sean adecuadas para ambientes de procesamiento duros y procesos de fabricación de semiconductores a alta temperatura.


Proceso de fabricación

La producción de obleas de zafiro de 12 pulgadas requiere crecimiento de cristales avanzados y tecnologías de procesamiento de ultra-precisión.

  1. Crecimiento de cristal único
    Los cristales de zafiro de alta pureza se cultivan utilizando métodos avanzados como KY u otras tecnologías de crecimiento de cristales de gran diámetro, lo que garantiza una orientación cristalina uniforme y un bajo estrés interno.

  2. Formación y corte de cristales
    El lingote de zafiro tiene una forma precisa y se corta en obleas de 12 pulgadas usando equipos de corte de alta precisión para minimizar el daño subterráneo.

  3. La limpieza y pulido
    Se aplican procesos de laminación y pulido mecánico químico (CMP) de varios pasos para lograr una excelente rugosidad, planitud y uniformidad del espesor de la superficie.

  4. Limpieza e inspección
    Cada oblea de zafiro de 12 pulgadas se somete a una limpieza exhaustiva e inspección estricta, incluyendo la calidad de la superficie, TTV, arco, curvatura y análisis de defectos.

 


Aplicaciones

Las obleas de zafiro de 12 pulgadas se utilizan ampliamente en tecnologías avanzadas y emergentes, incluidas:

  • Substratos LED de alta potencia y de alto brillo

  • Dispositivos de potencia basados en GaN y dispositivos de RF

  • Las demás máquinas y aparatos para la fabricación de equipos de semiconductores y sustratos aislantes

  • Ventanas ópticas y componentes ópticos de gran superficie

  • Envases avanzados de semiconductores y portadores especiales de procesos

El gran diámetro permite un mayor rendimiento y una mayor eficiencia de costos en la producción en masa.

 


Ventajas de las obleas de zafiro

  • Área utilizable más grande para una mayor potencia del dispositivo por oblea

  • Mejora de la coherencia y uniformidad de los procesos

  • Reducción del coste por dispositivo en la producción de gran volumen

  • Excelente resistencia mecánica para el manejo de grandes dimensiones

  • Especificaciones personalizables para diferentes aplicaciones

 Wafer de zafiro de 12 pulgadas para la fabricación de dispositivos LED y GaN 2


Opciones de personalización

Ofrecemos personalización flexible para obleas de zafiro de 12 pulgadas, incluyendo:

  • Orientación de los cristales (plano C, plano A, plano R, etc.)

  • Tolerancia de espesor y diámetro

  • Las demás máquinas y aparatos para la fabricación de plásticos

  • Perfil de borde y diseño de la carcasa

  • Requisitos de rugosidad y planitud de la superficie

Parámetro Especificación Las notas
Diámetro de la oblea Las demás: Oblea de gran diámetro estándar
El material Zafiro monocristalino (Al2O3) De alta pureza, de grado electrónico u óptico
Orientación cristalina El punto de referencia de las pruebas de ensayo debe ser el mismo que el punto de referencia de las pruebas de ensayo. Orientaciones opcionales disponibles
El grosor 430 ‰ 500 μm espesor personalizado disponible a petición
Tolerancia de espesor ± 10 μm Tolerancia limitada para dispositivos avanzados
Variación total del grosor (TTV) ≤ 10 μm Asegura el procesamiento uniforme en todas las obleas
- ¿ Por qué? ≤ 50 μm Medido sobre toda la oblea
La velocidad warp. ≤ 50 μm Medido sobre toda la oblea
Finalización de la superficie Polished de una sola cara (SSP) / Polished de doble cara (DSP) Superficie de alta calidad óptica
Roughness de la superficie (Ra) ≤ 0,5 nm (polidas) Suavidad a nivel atómico para el crecimiento epitaxial
Perfil del borde En el caso de las máquinas de la categoría N. Para evitar las astillas durante la manipulación
Precisión de la orientación ± 0,5° Asegura el crecimiento adecuado de la capa epitaxial
Densidad de defectos < 10 cm−2 Medido por inspección óptica
La superficie es plana ≤ 2 μm / 100 mm Asegura una litografía uniforme y un crecimiento epitaxial
La limpieza Clasificación de las entidades de crédito Compatible con la sala limpia
Transmisión óptica > 85% (UV-IR) Depende de la longitud de onda y el grosor

 

 

Oferta de zafiro de 12 pulgadas FAQ

P1: ¿Cuál es el grosor estándar de una oblea de zafiro de 12 pulgadas?
R: El espesor estándar oscila entre 430 μm y 500 μm. También se pueden producir espesores personalizados de acuerdo con los requisitos del cliente.

 

P2: ¿Qué orientaciones de cristal están disponibles para las obleas de zafiro de 12 pulgadas?
R: Ofrecemos orientaciones C-plane (0001), A-plane (11-20), y R-plane (1-102).

 

P3: ¿Cuál es la variación del grosor total (TTV) de la oblea?
R: Nuestras obleas de zafiro de 12 pulgadas suelen tener un TTV ≤10 μm, lo que garantiza la uniformidad en toda la superficie de la obleas para la fabricación de dispositivos de alta calidad.

 

 

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