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Piezas de cerámica

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November 18, 2025
Conexión De Categoría: Partes de cerámica
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Etiquetas:
#Arma mecánica de aluminio cerámica #Copo de succión de aluminio cerámico #Al2O3 Cerámica de aluminio
Resumen: Mira esta descripción general para descubrir por qué muchos profesionales prestan atención a la bandeja de carburo de silicio (SiC) CVD/SSiC de alta pureza para el procesamiento de obleas de semiconductores. Aprende sobre su excepcional resistencia mecánica, estabilidad térmica y precisión dimensional, diseñada para aplicaciones industriales exigentes.
Características De Productos Relacionados:
  • Diseñado con ranuras anulares multizona para la reducción de peso y la optimización del flujo de calor.
  • Cuenta con una red de nervaduras radiales reforzadas para una mayor resistencia mecánica y estabilidad rotacional.
  • La superficie mecanizada de alta precisión garantiza la planitud y la uniformidad del grosor para aplicaciones de semiconductores.
  • La interfaz de montaje centralizado permite una instalación segura en ejes rotatorios y sistemas automatizados.
  • El refuerzo estructural en el anillo exterior mejora la resistencia a la vibración y la estabilidad de la carga periférica.
  • Disponible en múltiples materiales de alto rendimiento, incluyendo SSiC, RBSiC, cerámica de alúmina y metales de alta resistencia.
  • Ideal para la fabricación de semiconductores, la producción de LED, el procesamiento de materiales avanzados y la maquinaria de precisión.
  • Ofrece eficiencia térmica, durabilidad estructural, estabilidad del proceso y personalización para diversas necesidades industriales.
Las preguntas:
  • ¿Qué es una bandeja de cerámica SiC?
    Una bandeja cerámica de SiC es un soporte de precisión fabricado con carburo de silicio de alta pureza, diseñado para soportar, cargar y transportar obleas o sustratos durante la fabricación de semiconductores, LED, óptica y procesos al vacío. Ofrece una estabilidad térmica excepcional, resistencia mecánica y resistencia a la deformación en entornos hostiles.
  • ¿Cuáles son las ventajas de usar bandejas de SiC en comparación con bandejas de cuarzo, grafito o aluminio?
    Las bandejas de SiC ofrecen beneficios de rendimiento superiores, incluyendo resistencia a altas temperaturas de hasta 1600-1800°C, excelente conductividad térmica, resistencia mecánica excepcional, baja expansión térmica, alta resistencia a la corrosión y una vida útil más larga en condiciones de fabricación continuas de alta tensión.
  • ¿Para qué aplicaciones se utilizan principalmente las bandejas de cerámica SiC?
    Las bandejas de SiC se utilizan ampliamente en la manipulación de obleas de semiconductores, los procesos LPCVD, PECVD, MOCVD, el procesamiento térmico, el recocido, la difusión, la oxidación y los procesos de epitaxia, la carga de obleas de zafiro/sustratos ópticos, entornos de alto vacío y alta temperatura, y plataformas de fijación de CMP o pulido de precisión.
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