En el caso de las máquinas de la categoría M2 y M3, el valor de las emisiones de gases de efecto invernadero se calculará en función de las emisiones de gases de efecto invernadero.

Resumen general

Las bandejas cerámicas de carburo de silicio (SiC) son soportes de alto rendimiento diseñados para ambientes térmicos, químicos y mecánicos exigentes.y estabilidad a temperaturas elevadasLas bandejas de SiC se han convertido en una solución preferida para el procesamiento de semiconductores, fabricación de LED, sinterización de materiales avanzados y aplicaciones térmicas de alta pureza.Su durabilidad y características de baja contaminación garantizan una fiabilidad constante del proceso y una larga vida útil.

Propiedades materiales

Las cerámicas de carburo de silicio ofrecen una combinación de resistencias físicas y químicas que superan a las bandejas convencionales de alumina y cuarzo:

• Resistencia a altas temperaturas:Funcionamiento estable por encima de 1600-1700 °C, adecuado para hornos de alta temperatura.

• Excelente resistencia al choque térmico:Ciclos rápidos de calentamiento y enfriamiento sin agrietamiento.

• Alta dureza y resistencia al desgaste:Prolonga la vida útil bajo tensión mecánica.

• Baja expansión térmica (CTE):Asegura la estabilidad dimensional durante el ciclo térmico.

• Alta conductividad térmica:Promueve la distribución uniforme del calor, mejorando la consistencia de sinterización.

• Resistente a la corrosión y la oxidación:Reduce mucho el riesgo de contaminación.

• Baja desgasificación:Adecuado para procesos ultralimpios.

Proceso de fabricación

Las bandejas cerámicas de SiC se fabrican típicamente a través deSinterización sin presión,Enlace por reacción (RBSiC), odeposición de vapor químico (CVD-SiC)en función de los requisitos de pureza y de rendimiento:

• RBSiC (SiC enlazado por reacción):Alta resistencia, excelentes propiedades de choque térmico, rentable.

• SSiC (SiC sinterizado):Mayor pureza, mayor densidad, mejor estabilidad química, ideal para semiconductores.

• El revestimiento de CVD-SiC:Proporciona superficies extremadamente puras, sin poros y resistentes a la corrosión para procesos avanzados de obleas.

Cada ruta de producción garantiza una alta uniformidad, un control dimensional preciso y una geometría personalizable.

Principales aplicaciones

Las bandejas cerámicas de SiC se utilizan ampliamente en múltiples industrias:

Semiconductores y microelectrónica

• Carga de obleas, procesamiento a alta temperatura, soporte para LPCVD/PECVD

• Difusión, oxidación, procesos térmicos rápidos

• Plataformas de transporte y transporte de materiales de alta pureza

Fabricación de LED y optoelectrónica

• Sinterización y recocido de obleas de zafiro, GaN y SiC

• Epitaxia y tratamiento térmico a altas temperaturas

Metallurgia de polvo y sinterización

• Cerámica, materiales magnéticos y sinterización de polvo metálico

• Los demás aparatos para la fabricación de máquinas y aparatos para la fabricación de máquinas y aparatos para la fabricación de máquinas

Batería de litio y materiales avanzados

• Calcinación en polvo, fosfatado, recubrimiento a altas temperaturas

• Instalaciones de apoyo para materiales de energía avanzada

Oficios de la industria general

• Horneado a alta temperatura, tratamiento térmico, ciclo térmico

Ventajas de las bandejas cerámicas de SiC

En comparación con las bandejas tradicionales de grafito, alumina o metal, las bandejas cerámicas SiC ofrecen ventajas significativas:

• Vida útil más largaen ciclos de alta temperatura repetidos

• Menor contaminación, garantizando una calidad de proceso estable

• Más resistencia mecánicapara resistir la deformación

• Conducción térmica uniformepara mejorar la consistencia del producto

• Diseño personalizable, incluidas las ranuras, agujeros, ranuras y geometrías complejas

• Compatible con ambientes de sala limpia y de vacío

Especificaciones disponibles

Ofrecemos bandejas estándar y diseñadas a medida, incluyendo:

• Las demás, bandejas porosas, bandejas de cuadrícula

• Las dimensiones:Los tamaños más comunes incluyen 100×500 mm; personalizables

• El espesor:3·20 mm o según la solicitud del cliente

• Opciones de material:Se aplican las siguientes medidas:

• Revestimiento de la superficie:Polishing, recubrimiento CVD, chanfring, marcado con láser

Se admiten servicios OEM/ODM personalizados para modelos especiales de hornos, sistemas automatizados o líneas de producción específicas.

Preguntas frecuentes

P1: ¿Cuál es la diferencia entre las bandejas RBSiC y SSiC?

El RBSiC proporciona una excelente resistencia mecánica a un costo más bajo, mientras que el SSiC proporciona una mayor pureza, una mejor resistencia a la corrosión y es ideal para entornos de semiconductores.

P2: ¿Pueden las bandejas de SiC soportar ciclos térmicos rápidos?

Sí, el SiC tiene una excelente resistencia al choque térmico, lo que lo hace adecuado para procesos de calentamiento y enfriamiento rápidos.

P3: ¿Se puede personalizar la forma de la bandeja?

Podemos producir bandejas con geometrías complejas, incluyendo ranuras, agujeros, bordes y estructuras multicapa.

P4: ¿El SiC contaminará los productos durante el funcionamiento a altas temperaturas?

No. SiC es químicamente estable, resistente a la oxidación, y tiene baja salida de gases, asegurando una baja contaminación.

P5: ¿Las bandejas de SiC requieren un método de limpieza específico?

La limpieza depende del grado del material: SSiC y CVD-SiC permiten la limpieza ácido/base; RBSiC requiere métodos más suaves para evitar alteraciones de la superficie.

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ZMSH se especializa en el desarrollo de alta tecnología, producción y venta de vidrio óptico especial y nuevos materiales cristalinos.Ofrecemos componentes ópticos de zafiro, cubiertas de lentes de teléfonos móviles, Cerámica, LT, Silicon Carbide SIC, Cuarzo, y obleas de cristal semiconductor.,con el objetivo de ser una empresa de alta tecnología líder en materiales optoelectrónicos.