Solución integrada de unión y sinterización
 

Revestimiento con aerosol de precisión • Enlace de alineación central • Desbublaje al vacío • Consolidación de carbonización / sinterización

Transformar la unión de semillas de SiC de un trabajo dependiente del operador en un proceso repetible y basado en parámetros: espesor de capa adhesiva controlado, alineación central con prensado de bolsas de aire, depuración al vacío,y consolidación de carbonización ajustable a temperatura/presiónConstruido para escenarios de producción de 6/8/12 pulgadas.

1. Resumen del producto

¿ Qué es?
 

Esta solución integrada está diseñada para el paso anterior del crecimiento de los cristales de SiC, donde la semilla / oblea se une al papel/placa de grafito de grafito (y las interfaces relacionadas).Cierra el circuito del proceso a través:
 

Revestimiento (adhesivo de pulverización) → Enlace (alineamiento + prensado + depuración al vacío) → Sinterización/carbonización (consolidación y curado)

Al controlar la formación de adhesivos, la eliminación de burbujas y la consolidación final como una sola cadena, la solución mejora la consistencia, la fabricabilidad y la escalabilidad.

Opciones de configuración

A. Línea semiautomática
Máquina de recubrimiento por rociado de SiC → Máquina de unión de SiC → Horno de sinterización de SiC

B. Línea totalmente automática
Máquina automática de recubrimiento por rociado y unión → Horno de sinterización de SiC
Integradores opcionales: manipulación robótica, calibración/alineación, lectura de identificación, detección de burbujas

Beneficios clave

• Control del espesor y de la cobertura de la capa adhesiva para mejorar la repetibilidad
• Alineación del centro y presión del airbag para un contacto constante y una distribución de la presión
• Desinfección al vacío para reducir las burbujas/vacíos dentro de la capa adhesiva
• Consolidación de carbonización ajustable a temperatura/presión para estabilizar el enlace final
• Opciones de automatización para un tiempo de ciclo estable, trazabilidad y control de calidad en línea

2. Principio

Por qué los métodos tradicionales luchan
El rendimiento de la unión de semillas está típicamente limitado por tres variables vinculadas:

1. Consistencia de la capa adhesiva ( espesor y uniformidad)

2. Control de burbujas/vacío (aire atrapado en la capa adhesiva)

3. Estabilidad posterior a la unión después del curado/carbonización

El recubrimiento manual generalmente conduce a una inconsistencia de grosor, una dificultad para descifrar, un mayor riesgo de vacío interno, un posible rasguño de las superficies de grafito y una escasa escalabilidad para la producción en masa.

El recubrimiento de espín puede producir un espesor inestable debido al comportamiento del flujo adhesivo, la tensión superficial y la fuerza centrífuga.También puede enfrentarse a contaminación lateral y limitaciones de fijación en papel/placas de grafito, y puede ser difícil que los adhesivos con contenido sólido se recubran uniformemente.

Cómo funciona el enfoque integrado

Revestimiento: el revestimiento por rociado forma un espesor de capa adhesiva y una cobertura más controlables en las superficies objetivo (semillas/wafer, papel/placa de grafito).

Enlace: Alineación central + presión de bolsas de aire apoya el contacto constante; el depuración al vacío reduce el aire atrapado, las burbujas y los vacíos en la capa adhesiva.

Sinterización/carbonización: La consolidación a alta temperatura con temperatura y presión ajustables estabiliza la interfaz de unión final, apuntando a resultados de prensado uniformes y sin burbujas.

Declaración de rendimiento de referencia
El rendimiento de unión por carbonización puede alcanzar más del 90% (referencia del proceso).

3. Proceso

A. Flujo de trabajo semiautomático

Paso 1 - Revestimiento por rociado (revestimiento)
Aplicar adhesivo mediante recubrimiento por rociado a las superficies objetivo para lograr un espesor estable y una cobertura uniforme.

Paso 2 Alineación y vinculación (ligación)
Realice la alineación del centro, aplique presión en el airbag y use el vacío para eliminar el aire atrapado en la capa adhesiva.

Paso 3: Consolidación por carbonización (sinterización/carbonización)
Transfiere las piezas unidas al horno de sinterización y ejecute la consolidación de carbonización a alta temperatura con temperatura y presión ajustables para estabilizar la unión final.

B. Flujo de trabajo totalmente automático

La máquina automática de recubrimiento por rociado y unión integra acciones de recubrimiento y unión y puede incluir manipulación y calibración robóticas.Las opciones en línea pueden incluir la lectura de identificación y la detección de burbujas para la trazabilidad y el control de calidadLas piezas se trasladan al horno de sinterización para su carbonización.

Flexibilidad de la ruta del proceso
Dependiendo de los materiales de interfaz y de la práctica preferida, el sistema puede admitir diferentes secuencias de recubrimiento y rutas de rociado de un solo lado o de dos lados, manteniendo el mismo objetivo:Capa adhesiva estable → depuración eficaz → consolidación uniforme.

4. Aplicaciones

Aplicación primaria
Enlace de semillas de crecimiento de cristales de SiC aguas arriba: unión de semillas/wafer a papel/placa de grafito y interfaces relacionadas, seguida de consolidación por carbonización.

Escenarios de tamaño
Soporta aplicaciones de unión de 6/8/12 pulgadas a través de la selección de configuración y el enrutamiento de procesos validados.

Indicadores típicos de ajuste
• El recubrimiento manual provoca variaciones de espesor, burbujas/vacíos, arañazos y rendimiento inconsistente
• El espesor del recubrimiento de espín es inestable o difícil en papel/placas de grafito; existen limitaciones de contaminación lateral/fijación
• Se necesita una fabricación escalable con una mayor repetibilidad y una menor dependencia del operador
• Quiere automatización, trazabilidad y opciones de control de calidad en línea (ID + detección de burbujas)

5. Casos clásicos (resultados típicos)

Nota: Las siguientes son referencias típicas de datos de referencia/procesos. El rendimiento real depende del sistema adhesivo, las condiciones del material entrante, la ventana de proceso validada y las normas de inspección.

Caso 1 ¢ Enlace de semillas de 6/8 pulgadas (referencia de rendimiento y rendimiento)
Sin placa de grafito: 6 piezas/unidad/día
Con placa de grafito: 2,5 piezas/unidad/día
Rendimiento de fianza: ≥95%

Caso 2 ¢ Enlace de semillas de 12 pulgadas (referencia de rendimiento y rendimiento)
Sin placa de grafito: 5 piezas/unidad/día
Con placa de grafito: 2 piezas/unidad/día
Rendimiento de fianza: ≥95%

Caso 3 Referencia del rendimiento de consolidación por carbonización
Rendimiento de unión por carbonización: 90%+ (proceso de referencia)
Resultado objetivo: resultados de prensado sin burbujas y uniformes (sujeto a criterios de validación e inspección)

6. Pregunta y respuesta (FAQ)

P1: ¿Cuál es el problema central que aborda esta solución?
R: Estabiliza la unión de semillas controlando el espesor/cobertura del adhesivo, el rendimiento de depuración y la consolidación posterior a la unión, convirtiendo un paso dependiente de la habilidad en un proceso de fabricación repetible.

P2: ¿Por qué el recubrimiento manual a menudo conduce a burbujas/vacíos?
R: Los métodos manuales luchan por mantener un espesor constante, lo que dificulta la desinfección y aumenta el riesgo de que el aire quede atrapado.También pueden rascar superficies de grafito y son difíciles de estandarizar en volumen.

P3: ¿Por qué el recubrimiento de espín puede ser inestable para esta aplicación?
R: El espesor es sensible al comportamiento del flujo del adhesivo, la tensión superficial y la fuerza centrífuga.y adhesivos con contenido sólido pueden ser difíciles de girar uniformemente la capa.