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LNOI
Datos del producto:
| Place of Origin: | China |
| Nombre de la marca: | ZMSH |
| Model Number: | 2”/3”/4”/6“/8” |
Pago y Envío Términos:
| Minimum Order Quantity: | 2 |
|---|---|
| Delivery Time: | 2-3 weeks |
| Payment Terms: | T/T |
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Información detallada |
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| Material: | Optical Grade LiNbO3 wafes | Diameter/size: | 2”/3”/4”/6“/8” |
|---|---|---|---|
| Cutting Angle: | X/Y/Z etc | TTV: | <3μm |
| Bow: | -30| Warp: |
<40μm |
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Descripción de producto
- ¿ Qué es?
Los cristales de LiNbO3 se utilizan ampliamente como dobladores de frecuencia para longitudes de onda > 1um y osciladores paramétricos ópticos (OPOs) bombeados a 1064 nm, así como dispositivos de coincidencia cuasi-fase (QPM).Debido a sus grandes coeficientes Elector-óptico (E-O) y Acousto-óptico (A-O), el cristal LiNbO3 es el material más comúnmente utilizado para células de Pockel, interruptores Q y moduladores de fase, sustrato de guía de ondas y obleas de onda acústica de superficie (SAW, por sus siglas en inglés), etc.
Nuestra abundancia de experiencia en el crecimiento y la producción en masa de niobato de litio de grado óptico tanto en bolas como en obleas.,En el caso de las plaquetas, las pruebas de calidad se realizan en el centro de la fábrica, en el centro de la fábrica, en el centro de la fábrica, en el centro de la fábrica y en el centro de la fábrica.Y también bajo la estricta limpieza de la superficie y el control de la planitud también.
Especificación
| El material | Optos Grado LiNbO3 Ofrendas (blancas) o bien Negro) | |
| El nombre de Curie Temperatura | 1142 ± 0,7 °C | |
| Cortado Ángulo | X/Y/Z, etc. | |
| Diámetro/tamaño | 2 ′′/3 ′′/4 ′′/6 ′′/8 ′′ | |
| Toll (±) | Se aplicarán las siguientes medidas: | |
| El grosor | 0.18·0,5 mm o más | |
| Primario En el plano | 16 mm/22 mm/32 mm | |
| TTV | 3 μm | |
| - ¿ Por qué? | - 30 años. | |
| La velocidad warp. | < 40 μm | |
| Orientación En el plano | Todo disponible | |
| Superficie El tipo | Se aplican las siguientes medidas: | |
| Las demás: el lado Ra | < 0,5 nm | |
| Sección I | 20/10 | |
| El borde Criterios de evaluación | R=0,2 mm Tipo C o con la nariz de toro | |
| Calidad | Libre de grietas (burbujas e inclusiones) | |
| Optos drogado | Mg/Fe/Zn/MgO, etc. para las obleas de grado óptico LN< por solicitado | |
| Ofras Superficie Criterios de evaluación | Indice de refracción | No=2.2878/Ne=2.2033 @632nm longitud de onda / método de acoplamiento de prisma. |
| Contaminación | No hay | |
| Las partículas c> 0,3 μm - ¿ Qué? | Se trata de: | |
| Rasguño, astillamiento | No hay | |
| Defectos | No hay grietas en los bordes, arañazos, marcas de sierra, manchas | |
| Embalaje | Cantidad/caja de obleas | 25 por caja |
Propiedades.
La fabricación de obleas de niobato de litio en aislante (LNOI) implica una serie de pasos sofisticados que combinan la ciencia de los materiales y las técnicas de fabricación avanzadas.El proceso tiene como objetivo crear un, película de niobato de litio de alta calidad (LiNbO3) unida a un sustrato aislante, como el silicio o el propio niobato de litio.
Paso 1: Implantación iónica
El primer paso en la producción de obleas LNOI implica la implantación de iones.La máquina de implantación de iones acelera los iones de helio, que penetran el cristal de niobato de litio a una profundidad específica.
La energía de los iones de helio se controla cuidadosamente para alcanzar la profundidad deseada en el cristal.causando interrupciones atómicas que conducen a la formación de un plano debilitadoEsta capa eventualmente permitirá que el cristal se divida en dos capas distintas,donde la capa superior (denominada capa A) se convierte en la película fina de niobato de litio necesaria para el LNOI.
El espesor de esta película delgada está directamente influenciado por la profundidad de implantación, que está controlada por la energía de los iones de helio.que es crucial para garantizar la uniformidad en la película final.
Paso 2: Preparación del sustrato
Una vez que el proceso de implantación de iones está completo, el siguiente paso es preparar el sustrato que apoyará la película delgada de niobato de litio.Los materiales de sustrato comunes incluyen el silicio (Si) o el propio niobato de litio (LN)El sustrato debe proporcionar un soporte mecánico para la película delgada y garantizar la estabilidad a largo plazo durante las etapas de procesamiento posteriores.
Para preparar el sustrato, a SiO₂ (silicon dioxide) insulating layer is typically deposited onto the surface of the silicon substrate using techniques such as thermal oxidation or PECVD (Plasma-Enhanced Chemical Vapor Deposition)Esta capa sirve de medio aislante entre la película de niobato de litio y el sustrato de silicio.se aplica un proceso de pulido químico mecánico (CMP) para garantizar que la superficie sea uniforme y lista para el proceso de unión.
Paso 3: Enlace de película delgada
Después de preparar el sustrato, el siguiente paso es unir la película delgada de niobato de litio (capa A) al sustrato.se vuelve a 180 grados y se coloca sobre el sustrato preparadoEl proceso de unión se lleva a cabo típicamente utilizando una técnica de unión de obleas.
En la unión de obleas, tanto el cristal de niobato de litio como el sustrato están sujetos a alta presión y temperatura, lo que hace que las dos superficies se adhieran fuertemente.El proceso de unión directa generalmente no requiere materiales adhesivosPara fines de investigación, el benzociclobuteno (BCB) puede utilizarse como material intermedio de unión para proporcionar un soporte adicional.aunque normalmente no se utiliza en la producción comercial debido a su limitada estabilidad a largo plazo.
Paso 4: Anillamiento y separación de capas
Después del proceso de unión, la oblea unida se somete a un tratamiento de recocido. El recocido es crucial para mejorar la resistencia del enlace entre la capa de niobato de litio y el sustrato,así como para reparar cualquier daño causado por el proceso de implantación iónica.
Durante el recocido, la oblea unida se calienta a una temperatura específica y se mantiene a esa temperatura durante cierto tiempo.Este proceso no sólo fortalece los enlaces interfaciales sino que también induce la formación de microburbujas en la capa implantada de ionesEstas burbujas hacen que gradualmente la capa de niobato de litio (capa A) se separe del cristal de niobato de litio original (capa B).
Una vez que se produce la separación, se utilizan herramientas mecánicas para separar las dos capas, dejando una película delgada de niobato de litio de alta calidad (capas A) en el sustrato.La temperatura se reduce gradualmente a temperatura ambiente, completando el proceso de recocido y separación de capas.
Paso 5: Planarización de la CMP
Después de la separación de la capa de niobato de litio, la superficie de la oblea LNOI es típicamente áspera e irregular.la oblea se somete a un proceso final de pulido químico mecánico (CMP). El CMP alisa la superficie de la oblea, eliminando cualquier rugosidad restante y asegurando que la película fina sea plana.
El proceso CMP es esencial para obtener un acabado de alta calidad en la oblea, que es fundamental para la fabricación posterior del dispositivo.a menudo con una rugosidad (Rq) inferior a 0.5 nm medida por microscopía de fuerzas atómicas (AFM).
Aplicaciones de la oblea LNOI
Las obleas LNOI (niobato de litio en aislante) se utilizan en una amplia gama de aplicaciones avanzadas debido a sus propiedades excepcionales,que incluye altos coeficientes ópticos no lineales y fuertes características mecánicasEn óptica integrada, las obleas LNOI son esenciales para crear dispositivos fotónicos como moduladores, guías de onda y resonadores, que son críticos para manipular la luz en circuitos integrados.En las telecomunicacionesEn el campo de la computación cuántica, las placas LNOI se utilizan ampliamente en moduladores ópticos, que permiten la transmisión de datos de alta velocidad en redes de fibra óptica.Las obleas de LNOI juegan un papel vital en la generación de pares de fotones entrelazadosAdemás, las obleas LNOI se utilizan en diversas aplicaciones de sensores,cuando se utilicen para crear sensores ópticos y acústicos de alta sensibilidad para el monitoreo ambientalEstas diversas aplicaciones hacen que las obleas LNOI sean un material clave en el desarrollo de tecnologías de próxima generación en múltiples campos.
Preguntas frecuentes
P: ¿Qué es el INOI?
R: LNOI es la abreviatura de Niobato de litio en aislante.Se refiere a un tipo de oblea que presenta una capa delgada de niobato de litio (LiNbO3) unido a un sustrato aislante como el silicio u otro material aislanteLas obleas LNOI conservan las excelentes propiedades ópticas, piezoeléctricas y piroeléctricas del niobato de litio, lo que las hace ideales para su uso en diversas tecnologías fotónicas, de telecomunicaciones y cuánticas.
P: ¿Cuáles son las principales aplicaciones de las obleas LNOI?
R: Las obleas LNOI se utilizan en una variedad de aplicaciones, incluyendo óptica integrada para dispositivos fotónicos, moduladores ópticos en telecomunicaciones, generación de fotones enredados en computación cuántica,y en sensores para mediciones ópticas y acústicas en el seguimiento del medio ambiente, diagnóstico médico y pruebas industriales.
P: ¿Cómo se fabrican las obleas LNOI?
R:La fabricación de obleas LNOI implica varios pasos, incluida la implantación de iones, la unión de la capa de niobato de litio a un sustrato (generalmente silicio), el recocido para la separación,y el pulido químico mecánico (CMP) para lograr unaLa implantación de iones crea una capa delgada y frágil que puede separarse del cristal de niobato de litio, dejando atrás una delgada,película de niobato de litio de alta calidad en el sustrato.
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