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Substrato del semiconductor
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Obleas de cuarzo fundido Alta pureza Estabilidad térmica Claridad óptica

Obleas de cuarzo fundido Alta pureza Estabilidad térmica Claridad óptica

Nombre De La Marca: ZMSH
MOQ: 5
Precio: by case
Detalles Del Embalaje: Cartones personalizados
Condiciones De Pago: T/T
Información detallada
Lugar de origen:
China
Capacidad de la fuente:
Por caso
Resaltar:

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Descripción de producto

Obleas de Cuarzo Fundido Alta Pureza, Estabilidad Térmica y Claridad Óptica para Aplicaciones Avanzadas

Descripción General del Producto de Obleas de Cuarzo Fundido

"Sílice Fundida" o "Cuarzo Fundido", que es la fase amorfa del cuarzo (SiO2). En comparación con el vidrio de borosilicato, la sílice fundida no tiene aditivos; por lo tanto, existe en su forma pura, SiO2. La sílice fundida tiene una mayor transmisión en el espectro infrarrojo y ultravioleta en comparación con el vidrio normal. La sílice fundida se produce fundiendo y redisolviendo SiO2 ultrapuro. Por otro lado, la sílice fundida sintética se fabrica a partir de precursores químicos ricos en silicio, como el SiCl4, que se gasifican y luego se oxidan en una atmósfera de H2 + O2. El polvo de SiO2 formado en este caso se funde a sílice sobre un sustrato. Los bloques de sílice fundida se cortan en obleas, después de lo cual las obleas se pulen finalmente.

 


Características y Beneficios Clave de las Obleas de Cuarzo Fundido

  • Ultra alta pureza (≥99.99% SiO₂)
    Ideal para procesos sensibles a la contaminación en semiconductores y fotónica.

  • Amplio rango de temperatura
    Resiste entornos térmicos criogénicos hasta >1100°C sin deformación.

  • Transmisión excepcional en UV e IR
    Ofrece una excelente claridad óptica desde el ultravioleta profundo (DUV) hasta el infrarrojo cercano (NIR).

  • Baja expansión térmica
    Asegura la estabilidad dimensional bajo ciclos térmicos, reduciendo el estrés de los componentes.

  • Inercia química
    Resistente a la mayoría de ácidos, bases y disolventes; perfecto para condiciones de proceso agresivas.

  • Control de calidad de la superficie
    Disponible en formatos pulidos ultra lisos por ambas caras para aplicaciones ópticas y MEMS.

 


Proceso de Fabricación

Las obleas de cuarzo fundido se producen a través de los siguientes pasos:

  1. Selección de Materia Prima: Se seleccionan y purifican arenas o cristales de cuarzo de alta pureza.

  2. Fusión y Solidificación: Los gránulos de cuarzo se funden a ~2000°C en hornos eléctricos bajo atmósfera controlada para eliminar burbujas e impurezas.

  3. Solidificación y Formación de Bloques: El material fundido se enfría en lingotes o bloques sólidos.

  4. Corte de Obleas: Sierras de hilo de precisión cortan el cuarzo fundido solidificado en blancos de oblea.

  5. Lapeado y Pulido: Las superficies de las obleas se esmerilan, lapean y pulen para lograr el grosor y la planitud exactos.

  6. Limpieza e Inspección: Las obleas finales se limpian ultrasónicamente en salas limpias Clase 100/1000 y se inspeccionan en busca de defectos.


Aplicaciones

Las obleas de cuarzo fundido se utilizan en industrias que requieren transparencia óptica, durabilidad térmica y resistencia química:

Semiconductores

  • Obleas portadoras en procesos de alta temperatura

  • Máscaras de difusión e implantación iónica

  • Plataformas de grabado, deposición e inspección

Fotónica y Óptica

  • Sustratos para recubrimientos ópticos

  • Ventanas láser y divisores de haz

  • Componentes ópticos de precisión UV e IR

Laboratorio e Investigación

  • Portamuestras para instrumentos analíticos

  • Plataformas de microfluídica y análisis químico

  • Sustratos de reacción a alta temperatura

LED y Solar

  • Obleas de horno para fabricación de chips LED

  • Sustratos en I+D de células fotovoltaicas


Especificaciones Disponibles

espec unidad 4" 6" 8" 10" 12"
Diámetro / tamaño (o cuadrado) mm 100 150 200 250 300
Tolerancia (±) mm 0.2 0.2 0.2 0.2 0.2
Espesor mm 0.10 o más 0.30 o más 0.40 o más 0.50 o más 0.50 o más
Plano de referencia principal mm 32.5 57.5 Semi-muesca Semi-muesca Semi-muesca
LTV (5mm×5mm) μm < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5 < 0.5
TTV μm < 2 < 3 < 3 < 5 < 5
Bow μm ±20 ±30 ±40 ±40 ±40
Warp μm ≤ 30 ≤ 40 ≤ 50 ≤ 50 ≤ 50
PLTV (5mm×5mm) < 0.4μm % ≥95% ≥95% ≥95% ≥95% ≥95%
Redondeo de borde mm Cumple con la norma SEMI M1.2 / consulte IEC62276
Tipo de Superficie   Pulido por una cara / Pulido por ambas caras
Ra de la cara pulida nm ≤1 ≤1 ≤1 ≤1 ≤1
Criterios de la cara posterior μm general 0.2-0.7 o personalizado
 

Ventajas Técnicas

  • Estructura similar al vidrio elimina la birrefringencia que se encuentra en el cuarzo cristalino

  • Sin eje cristalino—ideal para comportamiento isotrópico en aplicaciones ópticas

  • Superficie lisa y no porosa para mejorar la limpieza y la adhesión del recubrimiento

  • Adecuado para unión, corte y fotolitografía

  • Grados de bajo contenido de OH disponibles para mejorar la durabilidad UV


Preguntas Frecuentes (FAQ)

P1: ¿Cuál es la diferencia entre cuarzo fundido y sílice fundida?
Ambos se refieren a SiO₂ amorfo, pero "sílice fundida" a menudo implica vidrio sintético de alta pureza, mientras que "cuarzo fundido" se deriva de cuarzo natural. Sus propiedades son casi idénticas en la mayoría de las aplicaciones.

P2: ¿Se pueden usar obleas de cuarzo fundido en entornos de alto vacío?
Sí, el cuarzo fundido tiene una desgasificación extremadamente baja y una alta estabilidad térmica, lo que lo hace ideal para sistemas de vacío y aplicaciones espaciales.

P3: ¿Son estas obleas adecuadas para aplicaciones de láser UV?
Absolutamente. El cuarzo fundido exhibe una excelente transmisión en el rango UV profundo (hasta ~185 nm), lo que lo hace muy adecuado para ópticas láser DUV y sustratos de máscaras de fotomáscaras.

P4: ¿Ofrecen personalización?
Sí, fabricamos obleas según los requisitos del cliente, incluyendo diámetro, espesor, acabado superficial y patrones de corte láser.