Máquina de pulido de haces iónicos
Precisión a nivel atómico · Procesamiento sin contacto · Superficies ultra-lisas

Resumen del producto de la máquina de pulido de haz iónico
 

La máquina CNC de elaboración de imágenes de haces de iones funciona con el principio deDispersión de ionesBajo condiciones de vacío, la fuente de iones genera un haz de plasma, que se acelera en un haz de iones que bombardea la superficie de la pieza de trabajo para la eliminación de material a nivel atómico,que permiten la fabricación de componentes ópticos de gran precisión.

Esta tecnología ofreceProcesamiento sin contacto, libre de tensión mecánica o daño subterráneo, y es ideal para óptica de alta precisión en astronomía, aeroespacial, semiconductores e investigación científica.

Principio de trabajode máquina de pulido de haces iónicos

• Generación de ionesEl gas inerte (por ejemplo, el argón) se introduce en la cámara de vacío y se ioniza mediante un campo de descarga eléctrica.

• Aceleración iónica y formación de hazLos iones se aceleran a cientos o miles de electrónvoltios (eV) y se conforman en un punto de haz estable mediante la óptica de enfoque.

• Eliminación del materialEl haz de iones pulveriza físicamente los átomos de la superficie sin reacciones químicas.

• Medición de errores y planificación de trayectoriasLos errores de superficie se miden mediante interferometría, luego se utilizan funciones de eliminación para calcular los tiempos de permanencia del haz y generar rutas de procesamiento.

• Corrección en bucle cerradoLos ciclos de procesamiento y medición se repiten hasta que se alcanzan los objetivos RMS/PV.

Características del equipode máquina de pulido de haces iónicos

• Procesamiento sin contactoCapaz de manejar todas las formas de superficie

• Tasa de eliminación estable¢ Precisión de corrección de figuras por debajo del nanómetro

• No hay daños subterráneosPreserva la integridad óptica

• Alta consistencia¢ Fluctuación mínima entre materiales de dureza variable

• Corrección de frecuencia baja/mediaNo generación de error de frecuencia media alta

• Bajo coste de mantenimiento Funcionamiento continuo a largo plazo con un mínimo de tiempo de inactividad

Capacidad de procesamiento del equipode máquina de pulido de haces iónicos

Superficies disponibles:

• Componentes ópticos simples: plano, esfera y prisma

• Componentes ópticos complejos: asfera simétrica/asimétrica, asfera fuera del eje, superficie cilíndrica

• Componentes ópticos especiales: óptica ultrafina, óptica de barras, óptica hemisférica, óptica conformal, placas de fase, superficies de forma libre, otras formas personalizadas

Materiales disponibles:

• Vidrio óptico común: cuarzo, microcristalino, K9, etc.

• Óptica infrarroja: silicio, germanio, etc.

• Los metales: aluminio, acero inoxidable, aleación de titanio, etc.

• Materiales de cristal: YAG, carburo de silicio de un solo cristal, etc.

• Otros materiales duros y frágiles: carburo de silicio, etc.

Calidad / exactitud de la superficie:

• PV < 10 nm

• RMS ≤ 0,5 nm

Ventajas del productode máquina de pulido de haces iónicos

• Precisión de eliminación a nivel atómicoPermite superficies ultra-lisas para sistemas ópticos exigentes

• Compatibilidad de forma versátil¢ De la óptica plana a las formas libres complejas

• Amplia adaptabilidad del material¢ Desde cristales de precisión hasta cerámicas duras y metales

• Capacidad de apertura grandeProcesos de óptica hasta 4000 mm

• Funcionamiento estable prolongadoSe ejecuta durante 3 a 5 semanas sin mantenimiento de la cámara de vacío

Modelos típicos de la máquina de pulido de haz iónico

• El número de unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción de las unidades de producción.

• Ejes de movimiento: 3-eje / 5-eje

• Tamaño máximo de la pieza: hasta Φ4000 mm

Caso 1  Espejo plano estándar

• Pieza de trabajo: D630 mm de cuarzo plano

• Resultado: PV 46,4 nm; RMS 4,63 nm

- ¿ Qué?

Caso 2  Espejo reflector de rayos X

• Pieza de trabajo: 150 × 30 mm de silicio plano

• Resultado: PV 8,3 nm; RMS 0,379 nm; pendiente 0,13 μrad

- ¿ Qué?

Caso 3  Espejo fuera del eje

• Pieza de trabajo: D326 mm Espejo de tierra fuera del eje

• Resultado: PV 35,9 nm; RMS 3,9 nm

Áreas de aplicación de la máquina de pulido de haces iónicos

• Óptica astronómicaLos espejos primarios y secundarios de los grandes telescopios

• Óptica espacial¢ Teledetección por satélite, imágenes del espacio profundo

• Sistemas láser de alta potencia¢ Óptica ICF, formación del haz

• Óptica de semiconductoresLentes y espejos de litografía

• Instrumentación científica- espejos de rayos X/neutronos, componentes estándar de metrología

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Sobre nosotros

ZMSH se especializa en el desarrollo de alta tecnología, producción y venta de vidrio óptico especial y nuevos materiales cristalinos.Ofrecemos componentes ópticos de zafiro, cubiertas de lentes de teléfonos móviles, Cerámica, LT, SIC de carburo de silicio, cuarzo y obleas de cristal semiconductor.,con el objetivo de ser una empresa líder de alta tecnología de materiales optoelectrónicos.