6 negro de la oblea de la pulgada LiTaO3 LiNbO3 polarizado para la SIERRA/BAW 128 grados de Z-corte de Y
Datos del producto:
Lugar de origen: | China |
Nombre de la marca: | ZMKJ |
Certificación: | ROHS |
Número de modelo: | JZ-4INCH-LNOI |
Pago y Envío Términos:
Cantidad de orden mínima: | 2pcs |
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Precio: | by case |
Detalles de empaquetado: | solo envase de la oblea en sitio de limpieza |
Tiempo de entrega: | 4 semanas |
Condiciones de pago: | T/T, Western Union, Paypal |
Capacidad de la fuente: | 10PCS/Month |
Información detallada |
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Material: | Capa LiNbO3 en el substrato de silicio | Grueso de la capa: | 300-1000nm |
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orientación: | X-CUT | Uso 2: | dispositivos de 5G saw/BAW |
Ra: | 0.5nm | Capa del aislamiento: | Sio2 |
Substrato: | 525um | Tamaño: | 4inch 6inch 8inch |
Alta luz: | 6 oblea de la pulgada LiNbO3,Oblea de BAW LiNbO3,Oblea del Z-corte LiTaO3 |
Descripción de producto
6 negro de la oblea de la pulgada LiTaO3 LiNbO3 polarizado para los usos de la SIERRA/BAW 128 grados de Z-corte de Y
Cristal del niobato del litio el solo (LiNbO3) es un cristal ferroeléctrico con el alto coeficiente de acoplamiento electromecánico y la pérdida baja de la propagación, que se pueden utilizar para fabricar los dispositivos de la SIERRA con el ancho de banda del hasta 50%. Las propiedades acústicas de la onda superficial materiales cristalinos del niobato del litio de los solos están estrechamente vinculadas a su dirección de la orientación y de la propagación. Según diversos ángulos que cortan y direcciones de la propagación, la velocidad de la propagación de la sierra es 3400~4000m/s, el coeficiente de acoplamiento electromecánico es 0%~5.6%, y el coeficiente de temperatura es -1.1~-95.6 (10^-6/℃).
El tantalato del litio (LiTaO3) tiene características ópticas piezoeléctricas, electrópticas y no lineales, y una gama ancha de la transparencia que va de ultravioleta al infrarrojo. Es deseable que la oblea LiTaO3 era una superficie lisa para funcionar con buena calidad. El pulido mecánico químico (CMP) se ha utilizado para planarize los circuitos integrados (ICs) o para obtener una alta calidad superficial de los substratos. Este papel investiga el efecto del ácido cítrico como añadido en la mezcla para CMP LiTaO3. La aspereza de las obleas fue medida por una microscopia atómica de la fuerza (AFM, XE-100) después de pulir. La mezcla, que contiene el ácido cítrico como añadido, tiene una fuerza más alta de la tarifa y de fricción del retiro del material que una mezcla sin un añadido. Después de pulir, la aspereza superficial de la oblea LiTaO3 se puede reducir abajo a 1.7A del Ra.
Especificación característica
Crystal Sturucture | Trigonal, grupo de espacio R3c, grupo 3M del punto |
Punto de fusión | 1253℃ |
Dureza de Mohs | 5 |
Densidad (g/cm3) | 4,64 |
Delicuescencia | Ninguno |
Homogeneidad óptica | ~5x10-5/cm |
Gama de la transparencia | 420-5200nm |
Coeficiente de absorción | ~0.1%/cm @1064nm |
Índices refractivos | ne=2.146, no= 2.220@1300nm |
Coeficientes de la extensión termal (en 25℃) | //a, 2.0x10-6/K |
Coeficientes de la conductividad termal | 38 W/m/K en 25℃ |
Coeficientes ópticos termales | dno/dT=-0.874 x 10-6/K en el 1.4μm |
Las ecuaciones de Sellmeier | no2=4.9048+0.11768/(λ2-0.04750) - 0.027169λ2 |
Material | 3" 4" 6" oblea del LT vio/grado óptico | ||
Orientación | X112°/Y28°/Y36°/Y42°/YZ o modificado para requisitos particulares | ||
Temporeros del curie | 605°C±3°C | ||
Dopado con | FE | ||
Solo ámbito | Polarización terminada/reducido | ||
Orientación | 36°Y, 42°Y, X-112°Y, Y, Z | ||
Diámetro | 76.2±0.2m m | 100±0.2m m | 150±0.2m m |
Plano primario | 22±1m m | 32±1m m | 47.5m m, 57.5m m, hacen muescas en |
Grueso | 0.07mm~1.0m m | 0.1mm~1.0m m | 0.35mm~1.0m m |
Final superficial | El pulimento lateral solo/doble/el lado doble traslapó | ||
TTV | < 1=""> | ||
ARCO | ± (los 20µm ~40um) | ||
Deformación | <> | ||
LTV (5mmx5m m) | <1> | ||
PLTV (<0> | el ≥98% (5mm*5m m) con el borde de 2m m excluido | ||
Ra lateral pulido | Ra de la aspereza<> | ||
Criterios laterales traseros | Ra de la aspereza: los 0.5-1.0µm, GC#1000 | ||
Rasguño y empuje (S/D) | 20/10, 40/20, 60/40 | ||
Perfil del borde | Compl't con SEMI M1.2@with GC800# .regular en C mecanografió | ||
Grietas, marcas de la sierra, manchas | Ninguno |
Exhibición de la oblea LiTaO3 y de LiNbO3