 |
Mano de obleas SiC para el manejo de obleas, compatible con el cuarto limpio, resistente a la corrosión, interfaz personalizable
Datos del producto:
| Nombre de la marca: | ZMSH |
|
Información detallada |
|||
| Densidad: | 3.21 g/cm3 | Dureza: | Dureza de 2500 Vickers |
|---|---|---|---|
| Tamaño del grano: | 2 ~ 10 μm | Purificación química: | 99.99995 por ciento |
| Capacidad térmica: | 640 J·kg-1 ·K-1 | Temperatura de sublimación: | 2700°C |
Descripción de producto
Introducción del producto de la mano de la oblea
La mano de la oblea de SiC es un effector de extremo diseñado para manejar obletas con alta dureza y estabilidad térmica.ofrece una excelente resistencia mecánica, resistencia a la corrosión, durabilidad térmica y rendimiento ultralimpio. Es ideal para el manejo de sustratos semiconductores avanzados como SiC, GaN,y zafiro en ambientes limpios y de alta temperatura.
Estructura y principio de funcionamiento de la mano de la oblea
La mano de la oblea de SiC sostiene las obletas por el borde o la parte posterior utilizando estructuras en forma de tenedor o plataformas personalizadas.o agarres mecánicos que permitan la transferencia sin contacto o con mínimo contactoSu alta rigidez estructural garantiza la estabilidad dimensional durante el transporte, lo que permite un posicionamiento preciso de la oblea y un riesgo mínimo de contaminación.
Áreas de aplicación de la mano de la oblea
Las manos de obleas se utilizan ampliamente en los siguientes procesos de semiconductores y optoelectrónicos:
1.Sistemas de transporte de obleas (por ejemplo, EFEM, cargador FOUP, interfaces de cápsulas SMIF)
2.Carga y descarga de obleas para litografía, grabado, implantación iónica, tratamiento térmico
3Herramientas de inspección, clasificación y clasificación de las obleas
4.Enlaces, trituración, embalaje y estaciones de ensayo finales
5- Manejo de precisión en paneles de visualización, MEMS y fabricación de biochips
6Apto para Si, SiC, GaAs, GaN, zafiro y otros sustratos
Ventajas del productode WEn la mano
R: Soporta obleas de 2 a 12 pulgadas; también están disponibles tamaños personalizados.
P2: ¿La mano de la oblea rayará o contaminará la oblea?
R: No. La mano está hecha de materiales resistentes al desgaste y a bajas partículas con bordes chanfrados y cumplimiento de la sala limpia.
P3: ¿Se puede integrar con sistemas robóticos?
R: Sí, admite varias interfaces robóticas (por ejemplo, SECS / GEM, estándares SEMI) y se puede personalizar para sistemas específicos.
P4: ¿Cuál es la vida útil prevista y los requisitos de mantenimiento?
R: Diseñado para más de 1 millón de ciclos de funcionamiento con un mantenimiento mínimo; basta con una limpieza periódica.
P5: ¿Puede ser personalizado basado en diferentes materiales de obleas (Si, SiC, zafiro, etc.)?
R: Sí. Ofrecemos diseños personalizados optimizados para varios materiales de obleas con estructuras de soporte adecuadas.
Productos relacionados