Mano de obleas SiC para el manejo de obleas, compatible con el cuarto limpio, resistente a la corrosión, interfaz personalizable

Introducción del producto de la mano de la oblea
 

La mano de la oblea de SiC es un effector de extremo diseñado para manejar obletas con alta dureza y estabilidad térmica.ofrece una excelente resistencia mecánica, resistencia a la corrosión, durabilidad térmica y rendimiento ultralimpio. Es ideal para el manejo de sustratos semiconductores avanzados como SiC, GaN,y zafiro en ambientes limpios y de alta temperatura.

Estructura y principio de funcionamiento de la mano de la oblea

La mano de la oblea de SiC sostiene las obletas por el borde o la parte posterior utilizando estructuras en forma de tenedor o plataformas personalizadas.o agarres mecánicos que permitan la transferencia sin contacto o con mínimo contactoSu alta rigidez estructural garantiza la estabilidad dimensional durante el transporte, lo que permite un posicionamiento preciso de la oblea y un riesgo mínimo de contaminación.

Áreas de aplicación de la mano de la oblea

Las manos de obleas se utilizan ampliamente en los siguientes procesos de semiconductores y optoelectrónicos:

1.Sistemas de transporte de obleas (por ejemplo, EFEM, cargador FOUP, interfaces de cápsulas SMIF)

2.Carga y descarga de obleas para litografía, grabado, implantación iónica, tratamiento térmico
3Herramientas de inspección, clasificación y clasificación de las obleas

4.Enlaces, trituración, embalaje y estaciones de ensayo finales

5- Manejo de precisión en paneles de visualización, MEMS y fabricación de biochips

6Apto para Si, SiC, GaAs, GaN, zafiro y otros sustratos

Ventajas del productode WEn la mano

P2: ¿La mano de la oblea rayará o contaminará la oblea?
R: No. La mano está hecha de materiales resistentes al desgaste y a bajas partículas con bordes chanfrados y cumplimiento de la sala limpia.

P3: ¿Se puede integrar con sistemas robóticos?
R: Sí, admite varias interfaces robóticas (por ejemplo, SECS / GEM, estándares SEMI) y se puede personalizar para sistemas específicos.

P4: ¿Cuál es la vida útil prevista y los requisitos de mantenimiento?
R: Diseñado para más de 1 millón de ciclos de funcionamiento con un mantenimiento mínimo; basta con una limpieza periódica.

P5: ¿Puede ser personalizado basado en diferentes materiales de obleas (Si, SiC, zafiro, etc.)?
R: Sí. Ofrecemos diseños personalizados optimizados para varios materiales de obleas con estructuras de soporte adecuadas.

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